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Aerothch HexGen HEX500-350HL 六足六自由度定位系统
Aerotech 的 HexGen® 六足位移台代表了下一代六自由度 (DOF) 定位性能。HEX500-350HL 是一种高负载、超精密六足位移台,非常适用于 X 射线衍射、传感器测试和强力设备操作。
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  • 产品概述
  • 配置选型

设计特点

 

六自由度定位,线性行程达 110 毫米,角行程达 40°

精密设计,保证定位精度规格

最小增量运动在 XYZ 中达到 20 nm,在 θxθyθz 中达到 0.2 µrad

灵活的配置和定制

可根据要求提供真空制备

强大的控制和软件,具有工作和工具坐标系的可视化

在运动系统的设计和规范中存在许多权衡。凭借其高负载能力、大行程、高速度和亚微米精度,HEX500-350HL 不会强迫您在应用规格上妥协。

 

卓越的结构设计

 

HEX500-350HL 由六个高精度支柱驱动,这些支柱由精密预载轴承、滚珠丝杠和驱动部件构成。与由直流有刷伺服电机驱动的竞争六足机器人不同,HEX500-350HL 由交流无刷、无槽伺服电机驱动,可最大限度地延长设备寿命和性能。与使用皮带、齿轮箱或柔性联轴器的竞争设计相比,伺服电机直接耦合到执行器滚珠丝杠,可提高驱动刚度、定位精度和更好的最小增量运动(XYZ 为 20 nm,θxθyθz 为 0.2 µrad) . 支柱枢轴接头旨在提供低摩擦和高刚度,从而提高整体六足性能。

 

设计灵活性

 

HEX500-350HL 的设计充分考虑了灵活性和定制性。平台和底座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松修改。对于需要不同行程或独特性能参数的应用,设计的运动学和/或结构布局可以根据该标准进行定制。

 

HEX500-350HL 提供绝对式编码器选项,适用于在启动或断电时不需要移动的应用。底座和平台有一个直径为 150 毫米的通光孔,允许从底部进入工件。底座设计有安装孔,可直接适应英制或公制光学平台。六足也可以真空准备,用于同步加速器样品或光学调整、半导体制造和检测或卫星传感器测试中的苛刻应用。

 

强大的控件和软件

 

驱动 HEX500-350HL 的是 Aerotech 屡获​​殊荣的A3200 运动控制软件。A3200 控制器基于多年在困难运动学应用中的经验,可以通过直观的界面和实时运动可视化,在多个用户定义的坐标系中对六足机器人进行简单的编程和控制。Aerotech 的免费HexGen™ 尺寸计算软件能够轻松模拟六足机器人的可用行程和工作空间。


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